Invar 36 半導體設備用真空泵浦轉子

精工鑄造擁有超過30年高鉻耐磨與特殊合金鑄造技術經驗,自主研發KC-3X/5X/6X/27合金配方體系,產品廣泛應用於鋼鐵、水泥、礦業、瀝青與半導體產業,提供OEM/ODM客製化服務。

Invar 36 半導體設備用真空泵浦轉子

低膨脹 Invar 36 精密鑄件,實現尺寸穩定性 | 半導體

Invar 36 低膨脹真空泵浦轉子和主軸套筒,在半導體和精密設備的熱循環下,仍能保持嚴格公差。


挑戰

半導體和精密設備製造商需要零件在反覆的熱循環下,仍具有極低的熱膨脹性和尺寸穩定性。

解決方案

精工鑄造透過受控的冶金技術和精密加工,鑄造出符合嚴格公差要求的 Invar 36 低熱膨脹零件——真空泵浦轉子和主軸套筒。

成果

這些零件在溫度變化中保持了尺寸穩定性,為精密和半導體設備所依賴的精度和正常運行時間提供了保障。