Invar 36 半導體設備用真空泵浦轉子
低膨脹 Invar 36 精密鑄件,實現尺寸穩定性 | 半導體
Invar 36 低膨脹真空泵浦轉子和主軸套筒,在半導體和精密設備的熱循環下,仍能保持嚴格公差。
挑戰
半導體和精密設備製造商需要零件在反覆的熱循環下,仍具有極低的熱膨脹性和尺寸穩定性。
解決方案
精工鑄造透過受控的冶金技術和精密加工,鑄造出符合嚴格公差要求的 Invar 36 低熱膨脹零件——真空泵浦轉子和主軸套筒。
成果
這些零件在溫度變化中保持了尺寸穩定性,為精密和半導體設備所依賴的精度和正常運行時間提供了保障。