半導体機器用インバール36真空ポンプローター
寸法安定性のための低膨張インバール36精密鋳造品 | 半導体
インバール36の低膨張真空ポンプローターとスピンドルスリーブは、半導体および精密機器のための熱サイクル下で厳しい公差を維持しました。
課題
半導体および精密機器の製造業者は、非常に低い熱膨張と繰り返しの熱サイクル下での寸法安定性を持つ部品を必要としました。
解決策
KING CASTINGが製造したインバー36および低熱膨張部品 — 真空ポンプローターおよびスピンドルスリーブ — は、制御された冶金と精密加工により厳しい公差を満たしています。
結果
部品は温度変化に対して寸法安定性を維持し、精密機器および半導体機器が依存する精度と稼働時間をサポートしました。