Invar 36 半导体设备用真空泵浦转子
低膨胀Invar 36 精密铸件,实现尺寸稳定性| 半导体
Invar 36 低膨胀真空泵浦转子和主轴套筒,在半导体和精密设备的热循环下,仍能保持严格公差。
挑战
半导体和精密设备制造商需要零件在反覆的热循环下,仍具有极低的热膨胀性和尺寸稳定性。
解决方案
精工鑄造透过受控的冶金技术和精密加工,铸造出符合严格公差要求的Invar 36 低热膨胀零件——真空泵浦转子和主轴套筒。
成果
这些零件在温度变化中保持了尺寸稳定性,为精密和半导体设备所依赖的精度和正常运行时间提供了保障。