Invar 36 半导体设备用真空泵浦转子

精工鑄造拥有超过30年高铬耐磨与特殊合金铸造技术经验,自主研发KC-3X/5X/6X/27合金配方体系,产品广泛应用于钢铁、水泥、矿业、沥青与半导体产业,提供OEM/ODM客制化服务。

Invar 36 半导体设备用真空泵浦转子

低膨胀Invar 36 精密铸件,实现尺寸稳定性| 半导体

Invar 36 低膨胀真空泵浦转子和主轴套筒,在半导体和精密设备的热循环下,仍能保持严格公差。


挑战

半导体和精密设备制造商需要零件在反覆的热循环下,仍具有极低的热膨胀性和尺寸稳定性。

解决方案

精工鑄造透过受控的冶金技术和精密加工,铸造出符合严格公差要求的Invar 36 低热膨胀零件——真空泵浦转子和主轴套筒。

成果

这些零件在温度变化中保持了尺寸稳定性,为精密和半导体设备所依赖的精度和正常运行时间提供了保障。