반도체 장비용 인바르 36 진공 펌프 로터
치수 안정성을 위한 저팽창 인바르 36 정밀 주조 | 반도체
인바르 36 저팽창 진공 펌프 로터와 스핀들 슬리브는 반도체 및 정밀 장비를 위한 열 사이클링에서 엄격한 공차를 유지했습니다.
도전
반도체 및 정밀 장비 제조업체는 반복적인 열 사이클링에서 매우 낮은 열 팽창과 치수 안정성을 가진 부품이 필요했습니다.
해결책
KING CASTING 주조 인바르 36 및 저열팽창 부품 — 진공 펌프 로터 및 스핀들 슬리브 — 를 제어된 금속학 및 정밀 가공으로 요구되는 공차에 맞춰 제작했습니다.
결과
부품은 온도 변화에 따라 치수 안정성을 유지하여 정밀 및 반도체 장비가 의존하는 정확성과 가동 시간을 지원했습니다.