Rotor bơm chân không Invar 36 cho thiết bị bán dẫn
Đúc chính xác Invar 36 giãn nở thấp cho độ ổn định kích thước | Thiết bị bán dẫn
Các rotor và ống trục bơm chân không Invar 36 có độ giãn nở thấp giữ được độ chính xác chặt chẽ dưới sự thay đổi nhiệt độ cho thiết bị bán dẫn và thiết bị chính xác.
Thách thức
Các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn và chính xác yêu cầu các thành phần có độ giãn nở nhiệt rất thấp và độ ổn định kích thước dưới tác động của chu kỳ nhiệt lặp lại.
Giải pháp
Các thành phần Invar 36 và có độ giãn nở nhiệt thấp được đúc từ KING CASTING — rotor bơm chân không và ống trục — với công nghệ luyện kim được kiểm soát và gia công chính xác theo các tiêu chuẩn khắt khe.
Kết quả
Các bộ phận duy trì độ ổn định kích thước qua các biến động nhiệt độ, hỗ trợ độ chính xác và thời gian hoạt động mà thiết bị chính xác và bán dẫn phụ thuộc vào.